1. 测量速度极快，能在2到5秒内完成100个以内的尺寸的绘图、测量及公差的评价，效率是传统二次元影像测量仪的数十倍。
2. 避免了因测量行程增大而受到影响阿贝误差。重复测量精度高，解决了同一个产品反复测量数据一致性差的现象。
3. 仪器结构简单，不需要位移标尺光栅尺，在测量过程中也不需要移动工作台，所以仪器的稳定性能很好。
4. 由于精度标尺是CCD相机的像素点，而像素点是不会随时间变化，也不会受到温湿度的影响，所以仪器的精度比较稳定，且可以通过软件实现测量精度自动校准。